GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮

  • 名称:GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮
  • 类型:其他标准
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《GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮》下载简介
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标准编号:GB/T 16944-2009  
简体名称:电子工业用气体 氮  
繁体名称:電子工業用氣體 氮  
英文名称:Gas for electronic industry—Nitrogen

标准简介:
本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮,以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压,化学气相淀积等。


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