GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢

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标准编号：GB/T 16942-2009  
简体名称：电子工业用气体 氢  
繁体名称：電子工業用氣體 氫  
英文名称：Gas for electronic industry—Hydrogen

标准简介：
本标准规定了电子工业用氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛,作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。

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