GB/T 14264-2009 半导体材料术语

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标  准  编  号：GB/T 14264-2009   
简体中文标题：半导体材料术语
繁體中文標題：半導體材料術語
English  Name：Semiconductor materials—Terms and definitions

标准简介：
本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。
本标准适用于元素和化合物半导体材料。
 

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